一、真空溅镀机原理

真空镀膜是借助高能粒子轰击所产生的动量交换，把镀膜材料的原子从固体（靶）表面撞出并放射出来。放在靶前面的基材拦截溅射出来的原子流，后者凝聚并形成镀层。轰击粒子一般是重惰性气体离子，最常用的是氩。镀层物质变成蒸气相是通过一原子规模的机械过程（动量交换）需在真空仓内的均匀磁电场内实现，通常采用直流放电，它不是化学过程或热过程，而且装置中的磁性区域可防止等离子体与基材接触，因此对基材几乎没有热形响。适合应用于产生光学反射击镀层，通常溅镀室内真空镀达到3×10-3~3×10-5 bar才可使系统正常工作。

二、常用光盘反射层溅涂机

在现今光盘生产线中应用最为广泛的镀层溅渡机，有balzers（德国）公司及singulus（瑞士）公司所生产。两者区别在于承载基材的托盘座一个是相互成空间90°，另一是在同一平面上，因此其转换结构及排气方式都有所不同。

三、常见真空系统故障及分析、排除方式

因溅涂需在真空仓内实现，因此真空仓内真空度保持尤为重要。真空系统包括真空仓，初级、前级真空泵、分子泵，旁路阀及排气、抽气阀、真空检测探头等。以下是常见故障分析及排除方法。

现象
可能原因
解决办法

初级真空仓内达不到要求的真空度

① 真空仓门未关好

② 旁通阀没有打开

③ 真空仓门的密封圈泄漏或被弄脏

④ 初级泵油位太低或油内有杂质

⑤ 系统含排水

⑥ 前级真空检测头被弄脏

⑦ 无压缩气
① 关好真空仓门并启动

② 检查控制系统及压缩气

③ 检查密封圈，必要时清洁或更换之

④ 加油或换油

⑤ 排水，检查有否漏水，更换相关密封件

⑥ 清洁真空检测头

⑦ 检查气体供应

前级真空度达不到

① 同上①与④

② 前级真空探头有油

③ 前级真空阀无打开
① 同上①与④

② 清洁之

③ 检查旁路阀及压缩气体供应

最高级真空达不到

① 真空仓门密封不良

② 进气阀打开

③ 系统内含水

④ 在托盘转换期间有少许减弱

⑤ 分子泵不工作

⑥ 真空泵温度过高

⑦ 真空探头检测不准确
① 关好密封门

② 检查24V电路及阀芯是否漏气，必要时更换气阀

③ 查泄漏来源更换密封件，如轴封等。

④ 做一个泄漏测试，必须时更换气弹簧及相关气阀。

⑤ 检查水流量及电源

⑥ 检查水冷系统

⑦ 清洁真空检测探头。

四、故障实例的分析与排除

1、现象：在抽真空时总达不到要求的真空度（如应达到3.0×10-4--bar；但检测结果总在5.0×10-4--bar处停留，检查各级真空泵均无问题，且没有任何泄漏现象，并且通常是系统更换阴级罩后，重启动时发生。

2、分析：真空泵，既无异样，又无泄漏，应检查真空探头，因在生产过程中，铝粉沉积在真空仓内会弄脏真空探头，令其检测结果与实际值有差别。

3、解决办法：令系统在不工作状态，小心拆下真空探头，用专用工具拆下钨丝清洁，重装后OK。

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